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半導體行業(yè)應用超純水設備，實現(xiàn)清洗用水的高純度

時間：2023-11-13

　　半導體行業(yè)的發(fā)展面臨著一些挑戰(zhàn)。其中之一是半導體的制造需要使用大量的水資源。在半導體的制造過程中，需要使用超純水來清洗半導體芯片，去除表面殘留的微粒和金屬離子。因此，超純水設備的性能對半導體的制造質量有著重要的影響。

　　據(jù)了解，在半導體的制造過程中，需要保證其生產的清潔程度，所以使用的超純水設備產出的超純水作為清洗用水，其出水水質可以達到電子級或工業(yè)級的水質標準。一旦水質不純，就會導致半導體芯片表面殘留的微粒和金屬離子不能完全去除，從而影響半導體的性能和質量。因此，超純水設備的出水水質對半導體的制造至關重要。

超純水設備

　　目前市面上常用的超純水設備應用反滲透工藝和EDI系統(tǒng)相結合的工藝來制取超純水。該設備出水電阻率可達16 MΩ*cm(25℃)，具有環(huán)保、經濟、發(fā)展?jié)摿薮蟮戎T多優(yōu)勢。具體優(yōu)勢如下：

　　1、超純水設備內應用膜技術法，在保證系統(tǒng)高回收率的同時，有效提高系統(tǒng)的產水水質。

　　2、超純水設備可以連續(xù)穩(wěn)定地制備出質量良好的超純水，不會因為樹脂再生問題而停止運行，設備結構設計比較嚴密，所以其占地面積非常小，可以為企業(yè)節(jié)省大量空間。

　　3、超純水設備內應用的EDI系統(tǒng)無須酸堿再生，是一種新型的脫鹽方式。該系統(tǒng)運行成本低、自動化程度高，可連續(xù)工作，出水水質好且穩(wěn)定。

　　4、超純水設備遇故障能夠立即自停，具有自動保護功能，且具有能耗低、水利用率高等優(yōu)勢。

　　總之，超純水設備在半導體行業(yè)中具有非常重要的應用價值，可有效實現(xiàn)清洗用水的高純度。它不僅可以清洗半導體芯片表面的微粒和金屬離子，還可以制備高純度的化學試劑。同時，超純水設備也需要符合半導體制造過程中的嚴格要求，以保證出水水質的穩(wěn)定性和可靠性。

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　　編輯：柒柒   技術：米

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